글 (71) 썸네일형 리스트형 [공정] Clean 공정 반도체 공정들을 진행하다보면 wafer는 수시로 오염된다. ETCH로 인한 부산물(byproduct)이나 Photo 공정 이후 PR이 잔여하기도 하는 등, 거의 매 순간마다 오염된다고 생각해도 과언이 아닐정도. 이럴때마다 우리는 wafer를 씻어낼 필요가 있다. Clean 공정 반도체 clean 공정은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면에 남아 있는 불순물을 제거하는 공정이다. 반도체는 매우 미세한 구조로 이루어져 있기 때문에 웨이퍼 표면에 남아 있는 불순물은 제품의 성능과 수율에 생각보다 큰 영향을 미칠 수 있는데, 이로인해 상당한 수준의 클린룸에서 공정들이 진행되지만 모든 오염을 방지할 수는 없고, 공정마다 가지고있는 특징적인 오염들도 있다. 따라서 Clean공정은 반도체 공정에 있어 매 순간마다, 수.. [공정] CMP 공정 실제로 반도체 공정을 접하다보면 정말 많은 세부공정들이 들어있는데, 그중에서도 CMP는 평탄화가 필요한 부분마다 수시로 들어가는 중요한 step이다. 그만큼 전반적인 공정에 미치는 영향도 상당한 편이기도 하고. CMP 공정 CMP 공정은 Chemical Mechanical Polishing의 약자로, 약자를 그대로 풀어쓴대로 화학적 반응과 기계적 힘을 이용하여 웨이퍼 표면을 평탄화하는 공정이다. 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면에 형성된 미세한 요철을 제거하여 다음 공정으로의 연속성을 확보하고, 회로의 성능과 신뢰성을 향상시키는 데 중요한 역할을 한다. CMP 공정의 단계를 세분화하자면, 먼저 웨이퍼에 Slurry를 도포하는 것으로 시작한다. 이후 압력을 가하면서 Pad로 웨이퍼 표면을 연마하며, 마지막.. [공정] 식각(ETCH) 공정 식각(ETCH) 공정은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼에 증착된 특정 물질을 화학 반응이나 물리적 작용으로 제거하는 공정이다. 반도체의 구조를 형성하는 데 필수적인 공정으로, 노광 공정으로 형성된 패턴을 실제 웨이퍼에 구현하는 역할을 한다. 실제 패턴을 구현하는데 있어 노광(Photo) 공정만큼 중요한 입지를 차지하고 있으며, 오히려 Photo보다도 많은 변수를 만드는 공정이 되기도 한다. 식각 방식에 따른 구분 방식에 따라서 화학적 식각과 물리적 식각으로 구분하기도 한다. 화학적 식각은 식각액(Etchant)과 반응하여 특정 물질을 제거하는 공정으로. 식각액은 식각하고자 하는 물질에 따라 다양한 종류가 있으며 대표적인 식각액으로는 염산, 질산, 불산 등이 있다. 물리적 식각은 식각 물질을 물리적으로 제거하.. [공정] 노광(Photo)공정 노광공정(Photo공정)은 웨이퍼 위에 원하는 반도체 설계회로를 그려 넣는 공정이다. 노광 공정의 능력이 반도체 제조 능력의 척도가 되는만큼 반도체를 이해함에 있어 가장 중요한 공정이라고 할 수 있겠다. 노광공정은 아래와 같은 순서로 진행된다. 감광액 도포 웨이퍼 표면에 빛에 민감한 물질인 감광액(PR, Photo Resist)을 골고루 바른다. 감광액은 빛을 받으면 경화되는 성질을 가지고 있어서, 빛이 조사된 패턴영역과 조사되지 않은 나머지 영역을 구분짓는 패턴 형성의 역할을 한다. 일반적으로 도포 과정에서는 웨이퍼 전면의 균일한 도포를 위해 스피너라는 장비를 통한 스핀코팅 방식을 이용한다. 노광 웨이퍼 위에 마스크를 올려놓고, 마스크에 있는 패턴에 빛을 통과시킨다. 빛을 받은 부분의 감광액은 경화되고.. 인천 파라다이스 시티 _ 3. 씨메르, 아트스페이스 이전글 인천 파라다이스 시티 _ 2. 야간 산책 / 온 더 플레이트 / bmw 드라이빙 센터 야간 산책 밤에 산책이 좀 있어서 주변을 돌아다녀봤다. 호텔의 마당이랄지... 공원에 있는 체스판을 우선 구경하기로 했다. 드라마 '더 글로리'에서 바둑판 모양의 조형물이 나오는데, 나는 이 allegretto.tistory.com 씨메르 호텔 내부의 기본 수영장과 달리 옵션으로 있는 별도의 수영장이라고 보면 될 것 같다. 원래는 인당 6만원의 추가요금이 발생하지만 패키지에 포함되어있어서 무료로 들어갔다. 이용시간은 6시간이고, 씨메르 내부에서 이루어지는 결제는 전부 처음 나눠줬던 락커 키로 진행 후 나올때 한번에 정산하는 식이니 참고바람! 들어가면 우선 엄청 크다는 느낌이 든다. 언뜻 호텔 내부 수영장과 비슷한.. 심슨의 역설과 데이터 통계 얼마전, 데이터 통계방식에 대해 조사하던중 심슨의 역설(Simpson's paradox)을 경계하라는 말이 있었다. 처음 들어보는 용어였는데, 생각보다 예시가 흥미롭고 내가 자주 범하는 실수인 듯 하여 재미있게 내용을 읽은 기억이 있어서 정리해보고자 한다. 심슨의 역설( Simpson's paradox ) 1951년, 애드워드 심슨이라는 영국의 통계학자가 발견한 현상으로ㅜ데이터의 세부 그룹별로 일정한 추세나 경향성이 나타나지만, 전체적으로 보면 그 추세가 사라지거나 반대 방향의 경향성을 나타내는 현상을 의미한다. 사회과학이나 의학 통계, 공정 통계 등 통계가 활용될 수 있는 모든 분야에서 종종 발생하는 issue이다. 심슨의 역설의 원인으로는 보통 두가지 정도가 고려된다. 숨겨진 변수(confoundin.. 인천 파라다이스 시티 _ 2. 야간 산책 / 온 더 플레이트 / bmw 드라이빙 센터 이전글 인천 파라다이스 시티 _ 1. 내부 수영장 / 봉피양 이전글 인천 파라다이스 시티 _ 0. 사전조사 인천 파라다이스 시티에 놀러갈 일이 생길 것 같다. 사연인즉, 작년부터 회사에서 받은 숙박권이 두장정도 쌓여있는데 둘 다 사용기한이 올해까지인 allegretto.tistory.com 야간 산책 밤에 산책이 좀 있어서 주변을 돌아다녀봤다. 호텔의 마당이랄지... 공원에 있는 체스판을 우선 구경하기로 했다. 드라마 '더 글로리'에서 바둑판 모양의 조형물이 나오는데, 나는 이런 체스 기물 모양의 조형물을 엄청 좋아한다. 따로 움직일 수 있거나 한 건 아니라서 특별하진 않았지만 그냥 한 번은 보고싶었다는 느낌? 근데 보니까 킹도 두개씩 있고, 폰 배치도 두겹인게 나올 수 없는 잘못된 배치였음 야간에는 실.. 인천 파라다이스 시티 _ 1. 내부 수영장 / 봉피양 이전글 인천 파라다이스 시티 _ 0. 사전조사 인천 파라다이스 시티에 놀러갈 일이 생길 것 같다. 사연인즉, 작년부터 회사에서 받은 숙박권이 두장정도 쌓여있는데 둘 다 사용기한이 올해까지인 것. 그래서 생일이 다가온 김에 친구와 2박3 allegretto.tistory.com 사용권이 있는김에 인천 파라다이스 시티에 다녀왔다. 안 그래도 최근 이상한 사기꾼이 언급하던곳이라 좀 궁금하긴했는데...ㅋㅋ 일단은 비싼 호텔이라는것만 사전에 알고 갔었다. 어짜피 공항 근처의 호텔이니 공항까지는 가야했다. 그래서 태어나서 처음으로 공항버스라는걸 타봤는데, 이거 좀 신기하더라. 우선 버스가 도착하면 캐리어를 전부 짐칸에 실어주고 탑승한다. 우등버스라서 좌석이 넓은대신 좀 비싼데, 탈때 예약여부를 물어봐서 난 사전에 .. 이전 1 2 3 4 5 6 ··· 9 다음
